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型号 Model |
行程（mm） Range |
外部尺寸（mm）External Size |
重量（kg） Weight |
承重（kg） Capacity |
| VMA3020 | 300×200×200 | 680×840×950 | 220 | 25 |
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测量精度 Accuracy |
XY轴* | |||
| （3.0+L/200）µm | ||||
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*L表示测量长度，以毫米为单位 *L, the measured length in mm. |
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工作环境 Operating Environment |
温度Temperature：20℃±2℃ 温度变化Temperature Variation：<2℃/hr 湿度Humidity：30～80% |
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| 振动Vibration：＜0.002mm/s，＜15Hz | ||||
| 电源Power：220VAC，50Hz，10Amp | ||||